Вакуумне покриття подовжує термін служби витратних матеріалів у напівпровідниковій промисловості та скорочує час простою камери.Матеріали покриття варіюються від плавленого кремнезему до цирконію, стабілізованого оксидом ітрію, і покриття оптично прозорі та хімічно інертні.Усе це означає зниження вартості володіння завдяки синхронізації циклів технічного обслуговування.
Час публікації: 16 червня 2022 р